厦门天马联合研发国内首台新型TFT曝光机
栏目:会员资讯 发布时间:2017-12-26

本会会员单位厦门天马微电子有限公司(以下简称“厦门天马”)近期完成国内首台新型显示用6代高分辨率TFT曝光机的吊装搬入,标志着我国新型显示行业的装备国产化研制取得重大突破。

新型显示是信息产业重要的战略性和基础性产业,高分辨率TFT曝光机则是新型显示行业中生产显示器件的关键核心工艺设备。长期以来,由于该设备依赖进口,导致购买周期长、价格居高不下、供应稳定风险高。作为新型显示领域的领先企业,厦门天马积极联合国内设备制造商,进行关键核心工艺设备的国产化探索与尝试。自2016年起,厦门天马与上海微电子装备(集团)股份有限公司达成战略合作,联合进行国产TFT曝光机的开发与研制。目前,这台由我国自主研制的曝光机已在厦门天马安装、调试,打破了国外垄断。

  业界指出,尽管我国新型显示发展迅猛,但核心设备的国产化一直是短板。此次6代高分辨率TFT曝光机的国产化,标志着我国新型显示行业自主创新能力进一步得到提升,有利于加强我国新型显示行业的核心竞争力。

  厦门天马方面表示,未来,天马将持续进行新型显示制造装备国产化的探索,全面提升核心自主技术竞争实力,力争加速成为全球显示领域领先企业。